ଉତ୍ପାଦଗୁଡିକ
E-LMT-XYZ (ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ର line ଖ୍ୟ ମୋଟର XYZ ଆକ୍ସିସ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (ବାୟୁ ବହନ କରୁଥିବା ରେଳ) |
| ମୋଟର ପ୍ରକାର | | ତିନି ଚରଣ ଲ iron ହହୀନ ମୋଟର | | ଭଏସ୍ କୋଇଲ୍ ମୋଟର + |
| ସଂକଳ୍ପ | ଡିଫଲ୍ଟ 100nm ଡିଜିଟାଲ୍ ପରିମାଣ | | 1vpp ରୁ 5nm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ | |
| ମୋଟର ଥ୍ରଷ୍ଟ | | ନିରନ୍ତର 60N / ଶିଖ 210N | | ନିରନ୍ତର 60N / ଶିଖ 210N | |
| ସର୍ବନିମ୍ନ ପଦକ୍ଷେପ ଆକାର [nm] | 200nm | 100nm |
| ଭ୍ରମଣ [mm] | 200 × 200 | 10 |
| ପୁନରାବୃତ୍ତି [um] | ± 0.3 | |
| ଅବସ୍ଥାନ ସଠିକତା [um] | ± 1 | ± 0.5 |
| ଫ୍ଲାଟନେସ୍ | 10um | 5um |
| ସିଧାତା | 1um | 1um |
| ସର୍ବାଧିକ ଗତି [mm / s] | 500mm / s | 30mm / s |
| ଭାର ଧାରଣ [kg] | 5 କିଲୋଗ୍ରାମ (ବ ne ଜ୍ଞାନିକ କ୍ରମାଗତ ବଳ ସନ୍ତୁଳନ ଓଜନ ସହିତ Z ଅକ୍ଷ) | |
ତୁମର ବାର୍ତ୍ତା ଏଠାରେ ଲେଖ ଏବଂ ଆମକୁ ପଠାନ୍ତୁ |
